基辛格履历再加一行 将率这家新创打造全球最强大EUV光源

英特尔（Intel）前首席执行官基辛格已加入新创公司xLight，担任运行董事长，预计将与团队联手打造全球最强大的自由电子雷射（FEL）技术。

科技网站Tom’s Hardware报导，xLight正在研发通过粒子加速器生成自由电子雷射（FEL），作为极紫外光（EUV）微影系统的光源。该公司宣称能在2028年前制造这种光源，并保有与现有设备的兼容性。

基辛格在LinkedIn发文表示，「我将与首席执行官克勒兹（Nicholas Kelez）和他的团队合作，运用粒子加速器，打造全球最强大的FEL」。

EUV微影技术是通过波长13.5纳米的EUV光，在晶圆上产生极小的电路图案，目前仅艾司摩尔（ASML）能制造EUV微影系统。但制造极短波长光线的方式不只一种，其一是把粒子加速器当作一种「雷射产生电浆」（LPP）光源。

根据基辛格的贴文，xLight已制造出一个比当下最先进系统强四倍的LLP光源。也就是说，xLight和基辛格似在声明，目前已开发出大于1,000W的LLP光源，且2028年前就能进行商业用途。

值得注意的是，xLight并不打算取代ASML的EUV设备，而是「生产一种能与ASML扫描仪连接的LPP光源，并在2028年前用于晶圆上」。

这表示，xLight的LLP光源将与ASML现有设备兼容，但不清楚是否能用在新一代的高数值孔径极紫外光（High NA EUV）设备。